Was ist Vakuumtechnik?
Vakuumtechnik erzeugt, misst und nutzt Unterdruck durch die gezielte Entfernung von Gasen aus einem abgeschlossenen Raum. Sie ist essenziell für industrielle und wissenschaftliche Prozesse, bei denen ein kontrollierter Niederdruck die Qualität und Präzision der Abläufe maßgeblich steigert.
Wie wird Vakuum erzeugt?
- Drehschieberpumpen: Für das Grobvakuum (1–1000 mbar), besonders robust ausgelegt für den industriellen Einsatz.
- Turbomolekularpumpen: Für das Hochvakuum (<10⁻⁶ mbar) unter Einsatz von Hochgeschwindigkeitsrotoren.
- Membranpumpen: Absolut ölfreie Förderung für sensible Anwendungsbereiche wie in der Pharmaindustrie.
Industrieanwendungen
Dazu gehören die Halbleiterfertigung (CVD/PVD-Beschichtung), die Lebensmittelverarbeitung (Vakuumverpackung) sowie die Oberflächenbeschichtung von verschiedensten Materialien. Die Technik ermöglicht kontaminationsfreie Prozesse und sorgt für eine deutlich höhere Produktqualität.
Forschung und Medizin
Typische Einsatzbereiche sind die Teilchenphysik (Beschleunigeranlagen), die Oberflächenanalyse, die Weltraumsimulation sowie die sterile Medizinproduktion (z. B. bei der Lyophilisierung). Eine präzise Druckkontrolle optimiert hierbei die Experimente und sichert die erforderliche Reinheit.